Доступно онлайн

  • Статьи 3759
  • Тома 11
  • Номера 120

Информационные технологии, математика и техническая инноватика

УДК: 621.039.75

2014. - Т. 28. - № 1(150). - С. 86-89

Глеб Юрьевич Аверчук, Елена Сергеевна Куркина, Шамиль Юсифович Мустафаев,

ИНТЕГРАЛЬНАЯ МОДЕЛЬ РОСТА АЛМАЗНОЙ ПЛЁНКИ

В соответствии с кинетической схемой процесса построена макроскопическая модель роста алмазной пленки из газовой фазы. В основе модели лежит система ОДУ, описывающая изменение концентраций частиц со временем в каждом слое пленки. Проведено исследование влияния параметров и различных элементарных процессов на качество получаемой алмазной пленки. Найдены оптимальные условия роста пленки.

Скачать PDF

Первая страница статьи

ИНТЕГРАЛЬНАЯ МОДЕЛЬ РОСТА АЛМАЗНОЙ ПЛЁНКИ

Ссылки

  1. Frenklach M., Skokov S. Surface Migration in Diamond Growth // J. Phys. Chem. B. 1997. 101. P. 3025-3036.
  2. Netto A., Frenklach M. Kinetic Monte Carlo simulations of CVD diamond growth-Interlay among growth, etching, and migration // Diamond Relat. Mater. 2005. 14. P. 1630-1646.
  3. Аверчук Г. Ю. Куркина Е. С., Кольцова Э.М. Параллельный алгоритм поиска структур и реакций для моделирования процесса роста монокристаллической алмазной плёнки // Высокопроизводительные параллельные вычисления на кластерных системах. Материалы XIII Всероссийской конференции (Н.Новгород, 14-16 ноября 2013г.) / Под ред. проф. В.П. Гергеля. - Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета, 2013, С. 9-13.

Ключевые слова

diamond film   growth of diamond films   ode model   алмазная пленка   Математическое моделирование   система ОДУ  


Индексирование журнала

  • Elibrary.ru
  • Винити

Наши друзья

  • Фонд "Научная перспектива"
  • Минобрнауки
  • РХО им. Д.И. Менделеева