Доступно онлайн

  • Статьи 3759
  • Тома 11
  • Номера 120

Информационные технологии, математика и техническая инноватика

УДК: 548.55-522:004.942-021

2011. - Т. 25. - № 1(117). - С. 66-72

Г.Ю. Аверчук, Э.М. Кольцова,

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ АЛМАЗНОЙ ПЛЁНКИ

Разработан алгоритм моделирования процесса осаждения алмазной плёнки из га- зовой фазы, методом клеточного автомата, использующим трёхмерный массив со сдвигом слоёв подобно кристаллической решётке алмаза. Алгоритм описывает процесс в 7 этапов и позволяет проследить рост и морфологию моделируемой плёнки.

Скачать PDF

Первая страница статьи

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ АЛМАЗНОЙ ПЛЁНКИ

Ссылки

  1. P. W. May, Science 319, 1490 (2008).
  2. P. W. May/ P. W. May, N. L. Allan, M. N. R. Ashfold, J. C. Richley and Yu. A. Mankelevich.//J. Appl. Phys. 108, 014905 (2010).
  3. A. Netto / A. Netto and M. Frenklach// Diamond Relat. Mater. 14, 1630 (2005). 4. C. Andrieu/ C. Andrieu, N. Freitas, A. Douce and M. I. Jordan. Machine Learning, 50, 5 (2003).
  4. Лобанов, А.И. / А.И. Лобанов. Компьютерные исследования и Модели- рование, 2010. Т.2. №3. С. 273–293.
  5. S. Skokov/ S. Skokov, B. Weiner, and M. Frenklach.// J. Phys. Chem. 98, 7073 (1994).
  6. M. Frenklach/ M. Frenklach and S. Skokov// J. Phys. Chem. B 101, 3025 (1997).

Индексирование журнала

  • Elibrary.ru
  • Винити

Наши друзья

  • Фонд "Научная перспектива"
  • Минобрнауки
  • РХО им. Д.И. Менделеева